FMS165Z-H系列超高性能平移臺(tái)

l行程覆蓋150mm、200mm、250mm與300mm

l最小步進(jìn)距離可達(dá)50納米

l高達(dá)5納米分辨率的光柵尺編碼器

l靜音位移臺(tái)

l拖鏈內(nèi)置，方便線(xiàn)束管理

l免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線(xiàn)控制

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FMS165Z-H系列超高性能平移臺(tái)：電動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)同時(shí)具有高精度特性、高速能力、超低速運(yùn)行能力、高穩(wěn)定特性是非常困難的。2022年，我們專(zhuān)門(mén)為復(fù)雜科研應(yīng)用開(kāi)發(fā)了旗艦系列產(chǎn)品FMS165Z- H超高性能平移臺(tái)。FMS165Z-H解決了超低速運(yùn)行穩(wěn)定性難題，采?超高分辨率光柵尺配合超高精度裝配工藝，使該系列平移臺(tái)有優(yōu)秀的超低速運(yùn)行能力并達(dá)到亞μm級(jí)重復(fù)定位精度。FMS165Z-H采用內(nèi)置拖鏈，方便線(xiàn)束管理，結(jié)合我們高性能版本的FMC04-H系列控制器，能較好呈現(xiàn)高性能版本控制器的所有高級(jí)功能，運(yùn)行速度最高可達(dá)1m/s。

產(chǎn)品應(yīng)用

l工業(yè)

l飛秒加工

l半導(dǎo)體

l顯微掃描

l光纖延遲線(xiàn)

l激光切割機(jī)

l激光焊接機(jī)

l醫(yī)療

l儀器設(shè)備制造

性能實(shí)測(cè)

接線(xiàn)定義

電機(jī)接?

反饋接?

產(chǎn)品圖紙

FMS165Z-150H

FMS165Z-200H

FMS165Z-250H

FMS165Z-300H

產(chǎn)品參數(shù)